大型真空泵简单得说：功率大，极限真空高(绝对压力极小)(绝对压力越小，代表极限真空度越高)，有的甚至可以做到10负几次方Pa，非常接近理论真空了。抽气速率大，通常以“L/S (升/秒)”作为单位。工业上有非常广泛的应用。

缺点：价格高昂、体积大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期维护，不易移动等。有的大型真空泵必须使用真空泵油或润滑油，工作中会产生油雾，对工作介质有污染……

以上缺点在某些场合特别明显，如大型真空泵虽然真空度高，但在低真空场合反而浪费，像实验室，只是需要泵对少量气体进行气体采样、气体分析、气体循环、真空吸附、气体转移、增压、间接吸水、排水等时，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺点。

这个时候用微型真空泵，粗真空(真空度较低)就可以满足，而且体积小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于携带、免维护、可24小时连续运转，还允许介质富含水汽。最重要的是，因为是干式、无油的，不需要真空泵油或润滑油，所以不会污染工作介质，不会干扰对介质的分析等等。而且价格相对便宜得多。

现在，随着微型真空泵在各个领域的广泛应用以及真空技术的提高，微型真空泵的性能也不断提升，比如有一款高负压微型真空泵的极限真空度甚至可以达到0.012MPa(12 KPa)，即负压约-0.088Mpa；抽气速率最大可达：28L/Min；

还有能同时抽气、打气两用的微型真空泵，负压(-50KPa)，最大输出正压(相对大气压)100KPa(约1公斤)。